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硅片旋涂仪

硅片旋涂仪

高精度旋涂匀胶

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  • 供货总量: 1000台
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    广东 深圳 宝安区 深圳市宝安区
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是否进口:否产地:中国加工定制:否
品牌:雷博型号:EZ6订货号:802
货号:802类型:匀胶机外形尺寸:256*358*258mm
重量:25Kg产品用途:涂层镀膜规格:6英寸
是否跨境货源:否

硅片旋涂仪详细介绍

产品特点

工业级直流马达和单片机控制

4.3寸全彩触摸屏人机界面操作

***分子材料内腔,不锈钢外壳

特殊设计的防进胶,防堵胶功能

可升级一路***计量自动点胶功能

带真空开关和盖子开关安全互锁功能

推荐旋涂底物尺寸:6寸圆型底物

                                    

能参数

 

转速范围100-12000rpm,转速分辨率:1rpm

加减速可调节范围100-30000rpm/s

单步步长3000s, 时间分辨率:0.1s

单步和多步运行可选,最多可设置10组10步程序
宽电压适用,AC100-230V输入,中英文可选

标配10mm,25mm,55mm三种 规格真空载物盘

外形尺寸:256mm(W)*358mm(D)*258mm(H) 


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